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卧式扩散炉是做什么的?

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2020-10-21

        卧式扩散炉的购买和维护离子注入设备价格昂贵,并且适合于特征图形尺寸较小且电路器件间距较小的应用,并且可以接受低成本且受热扩散限制的电子电子产品,集成电路和晶体硅。太阳能电池制造业主要使用卧式扩散炉进行扩散掺杂。卧式扩散炉是这些子行业中掺杂工艺的核心设备,目的是改变和控制晶片中杂质的类型,浓度和分布,从而建立具有不同电特性的区域。卧式扩散炉主要由加热炉体,石英管,气体回路系统和进料装置组成。

        为了确保反应管内的压力平衡,卧式扩散炉的反应室装有压力差传感器,用于检测炉内外压力差,并配有专用的控制装置和控制装置。用于实时控制的气体流量计。内外压差为固定值,可根据工艺要求改变压差设定值,从而提高了工艺的均匀性和工艺可扩展性,正压在5Pa至70Pa之间可调,精度为± 3Pa。由于引入了炉管压力平衡系统,实现了负反馈压力调节,这有助于稳定反应室内的空气流动。在获得平方电阻的应用中,该炉管压力平衡系统可以确保卧式扩散炉在40〜90 Ohm / sq范围内可以保证5%,4%,4%的平方电阻的均匀性。

        卧式扩散炉随着半导体技术的不断发展,半导体产业逐渐细分。在细分行业中,例如集成电路,功率半导体,光学信息设备和化合物半导体,成熟可靠的NAURA卧式扩散炉还可用于干氧氧化,湿氧氧化,氢氧合成氧化,扩散,退火/推进,合金化和其他过程实际上是一台具备所有功能的机器。

        高性能卧式扩散炉的加热炉主体采用五段式温度控制,每段均配有独立的晶闸管模块,以实现精确的电气控制。该温度控制系统在炉内装有高精度热电偶,在炉管壁上装有热电偶。全部采用进口温度控制模块,控制精度高于0.1%。高端扩散炉制造商甚至使用控制精度为0.05%的温度控制模块,并通过工业计算机收集和设置温度。


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