卧式扩散炉是做什么的？

        卧式扩散炉的购买和维护离子注入设备价格昂贵，并且适合于特征图形尺寸较小且电路器件间距较小的应用，并且可以接受低成本且受热扩散限制的电子电子产品，集成电路和晶体硅。太阳能电池制造业主要使用卧式扩散炉进行扩散掺杂。卧式扩散炉是这些子行业中掺杂工艺的核心设备，目的是改变和控制晶片中杂质的类型，浓度和分布，从而建立具有不同电特性的区域。卧式扩散炉主要由加热炉体，石英管，气体回路系统和进料装置组成。

        为了确保反应管内的压力平衡，卧式扩散炉的反应室装有压力差传感器，用于检测炉内外压力差，并配有专用的控制装置和控制装置。用于实时控制的气体流量计。内外压差为固定值，可根据工艺要求改变压差设定值，从而提高了工艺的均匀性和工艺可扩展性，正压在5Pa至70Pa之间可调，精度为± 3Pa。由于引入了炉管压力平衡系统，实现了负反馈压力调节，这有助于稳定反应室内的空气流动。在获得平方电阻的应用中，该炉管压力平衡系统可以确保卧式扩散炉在40〜90 Ohm / sq范围内可以保证5％，4％，4％的平方电阻的均匀性。

        卧式扩散炉随着半导体技术的不断发展，半导体产业逐渐细分。在细分行业中，例如集成电路，功率半导体，光学信息设备和化合物半导体，成熟可靠的NAURA卧式扩散炉还可用于干氧氧化，湿氧氧化，氢氧合成氧化，扩散，退火/推进，合金化和其他过程实际上是一台具备所有功能的机器。

        高性能卧式扩散炉的加热炉主体采用五段式温度控制，每段均配有独立的晶闸管模块，以实现精确的电气控制。该温度控制系统在炉内装有高精度热电偶，在炉管壁上装有热电偶。全部采用进口温度控制模块，控制精度高于0.1％。高端扩散炉制造商甚至使用控制精度为0.05％的温度控制模块，并通过工业计算机收集和设置温度。