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扩散炉类型说明

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2016-02-02

扩散炉有垂直扩散炉(vertical)和水平扩散炉(horizontal)两种类型。

垂直扩散炉

垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面,更加有利于机械手传送硅片,片内工艺参数一致性更好。

水平扩散炉是石英舟平行于水平面,一台可以4个或4个以上的工艺炉管,平均炉管的占地面积更小,片间的工艺参数较垂直扩散炉更好。


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