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扩散炉炉体

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2022-11-02

扩散炉炉体


扩散炉是半导体生产线前处理的重要工艺设备之一。它用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光纤中的扩散、氧化、退火、合金化和烧结。


该炉由控制系统、船艇进出系统、炉子加热系统和气体控制系统组成。


控制系统

控制部分包括:温度控制器、电源组件、超温保护组件和系统控制。


系统的控制部分有四个独立的计算机控制单元,分别控制推舟、炉温和各层炉管的气路,是扩散/氧化系统的控制中心。



辅助控制系统,包括推船控制装置、保护电路、电路切换控制、三相电源指示灯、照明、净化、排气开关等。


先进的扩散炉控制系统已更新或升级为微机控制,管机与上位机之间的通信通过串行RS232或网线实现。控制软件多基于Windows系统,大大提高了其实用性和可操作性,可实现日志记录、曲线记录、程序编辑、远程控制等多种功能。


船只进出系统

水平扩散炉舟系统有两种进出方式:1)悬臂桨系统;2)软着陆系统。


悬臂桨系统的结构相对简单。在SiC桨将舟和硅晶片运送到应时炉管中之后,它停留在应时炉管中。直到该过程结束,SiC桨携带舟和硅晶片并缓慢返回到其原始位置。悬臂桨叶系统的缺点是桨叶对炉管温度的均匀性有一定的影响。此外,工艺气体也会沉积桨叶并影响颗粒。


软着陆系统比悬臂螺旋桨系统更先进。SiC推进器进入应时工艺炉管后,推进器自动下沉放下应时舟和硅片,然后慢慢运行回原点。最后,应时炉管的门自动关闭。软着陆系统的优点是没有SiC桨叶对腔体的影响,使温度均匀性更好,减少了工艺气体在SiC桨叶上的沉积,导致颗粒更少。


推舟净化柜的顶部设有照明灯;它是一种高效过滤器,前端为水平层流,四层推舟螺杆,导轨副传动系统,SiC悬臂桨座。丝杠右端装有驱动步进电机,导轨两端为限位开关。机柜下部装有控制电路转接板和净化风扇。


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