全自动扩散炉供应商带您了解全自动扩散炉

全自动扩散炉供应商带您了解全自动扩散炉

一．设备概述：

全自动扩散炉采用电脑工控机软件控制方式，该设备用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金和烧结等工艺。设备主要适合于3-6英寸工艺硅片的处理，具有多条工艺曲线，调用方便快捷；运行中，具有停电记忆功能触摸微机界面，操作方便；具有超温保护功能。

 二．设备主要特点和优势

 1★具有强大的软件功能,友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间；

 2★采用可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化；

 3★程序可以实现手/自动工作，在停电或中途停机后，再次启动可以根据工艺手动升温，节省工艺时间；

 4★具有多种工艺管路，可供用户方便选择；

 5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿，避免环境温度变化，对炉膛温度产生影响，避免层间干扰；

 6★推拉舟控制采用高速脉冲闭环控制，避免马达丢步，运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期，自动校准位置，有效防止定位偏差；

 7★气体流量控制精确，采用模拟信号闭环控制，强弱电分开，各种数据交互采用标准总线，提高抗干扰能力，保证数据安全；气体打开具有缓启动功能；

 8★具有多种报警功能及安全保护功能；

 9★恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度；