扩散炉炉体由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统组成。

扩散炉应用于很多生产厂家，那么你知道扩散炉的炉体是怎么构成的吗？扩散炉炉体由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统组成。

控制系统

控制部分包括：温度控制器、电源组件、超温保护组件和系统控制。

扩散炉网络控制

系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温和气路，是扩散/氧化系统的控制中心。

辅助控制系统，包括推舟控制装置、保护电路、电路切换控制、三相电源指示灯、照明、净化和抽气开关等。

更先进的扩散炉控制系统已更新或升级为微机控制，管机与主机之间的通信通过串行端口RS232或网络电缆进行。大多数控制系统软件基于windows系统，其实用性和可操作性大大提高。可实现日志记录、曲线记录、程序编辑、远程控制等多种功能。

进出舟系统

水平扩散炉进出舟有两种方式：1）悬臂桨系统；2） 软着陆系统。

悬臂桨系统的结构相对简单。在碳化硅桨叶将舟和硅晶片运送到石英炉管中之后，它留在石英炉管内，直到工艺过程结束。碳化硅桨缓慢地将舟和硅晶片运送回初始位置。悬臂桨叶系统的缺点是桨叶对炉管的温度均匀性有一定影响。此外，工艺气体也会沉积在桨叶上并影响颗粒。

软着陆系统比悬臂桨叶系统更先进。碳化硅桨叶进入石英工艺炉管后，桨叶会自动下沉，放下石英舟和硅晶片，然后缓慢运行回到原点。最后，石英炉管的门将自动关闭。软着陆系统的优点是，碳化硅桨叶对空腔没有影响，因此温度均匀性更好，减少了工艺气体在碳化硅桨上的沉积，从而减少了颗粒。

推舟净化柜顶部装有照明灯；前部为水平层流高效过滤器、四层推舟导螺杆、导轨辅助传动系统和碳化硅悬臂桨座。导螺杆右端安装有驱动步进电机，导轨两端为限位开关。机柜下部配有控制电路适配器板和净化风扇。

扩散炉炉体加热系统

炉子加热系统有六层。顶层装有水冷散热器和排热风扇。每层加热炉体还配备有水冷系统，以隔离每层炉管温度的相互影响。排气室顶部设有出气口，与外部负压排气管连接后，可带走过程中残留的废气。中间部分分为四层，放置四个加热炉体。每层由四个倾斜支架支撑并固定在加热炉体上，其位置在安装过程中与推拉舟系统-导螺杆、导轨辅助传动系统、碳化硅悬臂桨系统或软着陆系统对齐。

气体控制系统

气源柜分为五层。顶部设有毒物排放口，用于排放源更换过程中泄漏的有害气体。机柜顶部设有三通工艺气体和单向压缩空气入口。减压阀和截止阀安装在端口下方，用于控制和调节入口压力。与气路相对应，每层均配备相应的电磁阀、气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、DCE源瓶和冷阱。机柜底部配有质量流量（MFC）控制器电源、控制开关、保险丝和其他电路传输板，以及设备主电源的进线传输板。