电话:400-0532-778
扩散炉

立式真空扩散炉

立式真空扩散炉
产品详情:

本设备主要应用于集成电路、分立器件、电力电子器件熔化焊接来进行的生产、扩散、烧结、以及热处理退火等工艺操作。

主要技术指标: 
方式:立式、环壁加热,钟罩升降式,丝杠上下传送料,自动升降送料,真空室内配有工件支架

可处理硅片尺寸:2-8英寸

恒温区长度:400-800mm

工作温度:400-1250°度

控温精度: ± 1度

有效工作空间: ¢ 350*高700mm;(此尺寸可根据工艺要求制作)

真空机组:采用2x-8 机械泵+涡轮分子泵(或扩散泵)

真空度:极限真空5*10-4。

工艺气体:N2/H2/Ar/O2(可根据工艺要求选配);

压力:0.02—0.2mpa

冷却水:压力0.2—0.4MPa

电源电压:380V;总功率:22KW

功能特点:

全中文windows操作界面,可编辑参数,操作方便。 
★可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。
★工艺曲线的自动运行控制功能。   
★自动运行中可暂停/继续运行功能。
★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。   
★智能升降温斜率制功能。
★PID参数自整定功能。   
★系统故障的检测与报警功能。  
★停电后断点继续运行功能。
★工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)。
★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。

热门标签:立式真空扩散炉
留言板
联系我们

青岛育豪微电子设备有限公司(总部)  
地址:青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号
全国免费咨询电话:400 0532 778
销售部电话:陈庆建 13864877323 李宗鲜 13805325274 
网址:http://www.qdyuhao888.com

邮箱:陈庆建 qdyuhao_chen@126.com  李宗鲜 qdyuhao_lzx@126.com

青岛育豪微电子设备有限公司 青岛名商网络提供技术支持  手机版

太阳能扩散炉,扩散炉炉体,链式烧结炉,链式隧道炉,高温钎焊炉,高温真空烧结炉,真空焊接炉,真空管式炉