你对低压扩散炉了解多少？

低压扩散炉的扩散现象（diffusion）是指物质分子从高浓度区域向低浓度区域转移直到均匀分布的现象，速率与物质的浓度梯度成正比。扩散是由于分子热运动而产生的质量迁移现象，主要是由于密度差引起的。分子热运动目前认为在绝对零度不会发生。扩散现象等大量事实表明，一切物质的分子都在不停地做无规则的运动。

经世界各大光伏行业设备供应商的不断研究，发现低压扩散技术优势非常明显，经过行业内技术研发人员的不懈努力，低压扩散逐渐成为下一代高性能扩散炉的核心技术。

它对156~162mm尺寸的电池片在每批次产能高达1000片/管甚至更高的情况下，其扩散方块电阻均匀性仍优于4%，与常压扩散炉相比片均能耗降低50%以上，化学品消耗降低更是超过50%，也不用额外增加工艺时间，是高品质扩散的首选与环境友好型的生产方式。

但由于反应尾气富含五氧化二磷，遇到水蒸气后快速生成偏磷酸，偏磷酸甚至可以腐蚀316L不锈钢，在高达800℃以上的条件下，使用非金属材料密封真空系统，是低压扩散炉制造的核心难点技术。

由于引入了真空反应系统，这会增大气体的分子自由程，而且大幅减少湍流的产生，从而得到大幅改善的扩散方阻均匀性，这是低压扩散炉有别于常规闭管扩散炉最大的优势。

随着低压扩散炉制造技术不断进步和完善，自2016年来，晶体硅太阳能电池行业扩产和技术升级的太阳能电池制造商几乎都选择产能密度更高的低压扩散炉作为首选的掺杂设备。低压扩散炉已经遍布在中国的江苏、浙江、四川、安徽、山东、陕西、台湾，以及东南亚的马来西亚、泰国、越南甚至埃及的光伏电池制造工厂内高效生产。