电话:18678918462
新闻
首页 > 新闻 > 内容

有关卧式扩散炉内容介绍

编辑:青岛汉容瑞得技术有限公司  时间:2019-09-09

卧式扩散炉由于离子注入设备购入和维护成本高昂,并且适用于更小特征图形尺寸与更近电路器件间距的场合,能接受中低成本和热扩散限制的电子电子、集成电路、晶体硅太阳电池制造行业等主要使用卧式扩散炉进行扩散掺杂。卧式扩散炉是这些细分行业掺杂工艺的核心设备,从而改变和控制晶圆内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。卧式扩散炉主要由加热炉体、石英管、气路系统,取送料装置等组成。

为保证反应管内压力平衡,卧式扩散炉的反应腔室配有压差传感器检测炉内外压差,并有专门的控制装置和气路流量计与之配套实时控制,通过充气调压的方式保证炉内外压差为定值,且可根据工艺需求改变压差设定值,从而提高工艺均匀性及工艺扩展性,正压5~70Pa可调,精度±3Pa。得益于炉管压力平衡系统的引入,实现了压力负反馈调节,这有助于稳定反应室内的气流。在获得方块电阻使用场合,这种炉管压力平衡系统可使卧式扩散炉可确保在40~90 Ohm/sq区间的5点方阻均匀性达到5% 、4%、4%。

卧式扩散炉随着半导体技术的不断发展,半导体行业逐渐细分,在集成电路、功率半导体、光信息器件、化合物半导体等细分行业,技术成熟可靠的NAURA卧式扩散炉还可以用于干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化、扩散、退火/推进和合金等多种工艺,真可谓一机在手,功能全有。

高性能卧式扩散炉的加热炉体均采用五段控温,每段配备独立的可控硅模块实现精准电力控制,控温系统均配备炉内高精度热电偶和炉体管壁热电偶,均采用控制精度高于0.1%的进口温控模块,高端扩散炉制造商甚至使用控制精度为0.05%的温度控制模块,并由工控机进行温度采集与设定。

联系我们

青岛汉容瑞得技术有限公司  
地址:青岛市高新区锦业路1号蓝贝智造工场D5-1
全国咨询电话:张经理 18678918462
网址:

邮箱:张经理 zhm18678918462@163.com

版权所有:青岛汉容瑞得技术有限公司  手机版