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扩散炉

卧式真空扩散炉

卧式真空扩散炉
产品详情:

一.设备概述:
 真空扩散炉水平对置采用电脑工控机软件控制方式,大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的3-6英寸工艺硅片在真空状态下的扩散、氧化、退火、合金和烧结等工艺。 
 二.设备参数类型: 

方式:

左/右手操作方式,大工作台面(侧面采用高效净化)

可配工艺管数量:

1-4管系统

净化台洁净度: 

100级(10000级厂房) 

气体流量控制: 

均用MFC控制 

送取片方式: 

自动推拉,采用Sic浆推拉舟方式 

使用类型:

3-6寸炉管

工作温度: 

600~1290℃ 

炉管有效口径:

¢150-240mm

总功率:T

18-28KVA/管   保温功率:8-15KVA/管 

三相五线制: 

380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线 

报警:

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能 

恒温区长度及段数: 

400-1100mm(3-5段控温) 

控温精度: 

±0.5℃(≧1000℃) 

单点温度稳定性: 

±1℃/12h

控温方式: 

工控机 + PLC控制 + 触摸屏 

热偶类型:

热电偶采用S/R型,每管Spike 4-10支热偶 

真空度: 

5*10-2MPa

最大可控升温范围: 

(500~1290℃)0—15℃/min

最大可控降温范围: 

(1290~500℃)0—10℃/min

工艺气体:

N2/H2/Ar/O2(可根据工艺要求选配) 

真空机组:

采用直连机械泵+罗茨泵(可根据工艺要求选配) 

冷却水:

压力0.2—0.4MPa 

设备总外形尺寸: 

根据设备配置不同,尺寸有所不同 

三.主要构成:

1、

设备主机

2、

加热系统

3、

排风冷却系统

4、

排毒箱(和设备主机做为一体)

5、

净化工作台

6、

控制系统

7、

自动Sic浆推拉舟机构

8

真空系统


四.设备主要特点和优势

 1★具有强大的软件功能,友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间; 
 2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化; 
 3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间; 
 4★具有多种工艺管路,可供用户方便选择; 
 5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰; 
 6★推拉舟控制采用高速脉冲闭环控制,避免马达丢步,运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期,自动校准位置,有效防止定位偏差; 
 7★气体流量控制精确,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能; 
 8★具有多种报警功能及安全保护功能;
 9★恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度; 

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