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扩散炉的规格

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2018-04-12

 

 

扩散炉种类很多,按每台炉子的炉管数可分为单管炉和多管炉;按结构形式可分为卧式和立式;按恒温区长度可分为大、中、小三种,大型的恒温区可分为大、中、小三种,大型的恒温区为600-400毫米,中型的为400-200毫米,小型的为200毫米左右。扩散炉的分类主要有以下几种:

1、单管扩散炉

每台扩散炉只有一个炉管、一套温度控制器和可控硅装置的扩散炉。结构简单,但由于受半导体工艺车间净化面积的限制,一般多采用多管扩散炉。

2、多管扩散炉

每台炉子由二个或二个以上炉管的扩散炉。目前大多数采用三管炉。使用时将两台三管炉靠背放置即成六管炉。使用时将两台三管炉背靠背放置即成六管炉,它只需配置一套净化台,从而缩小了占地面积和净化费用。

3、卧式扩散炉

炉膛呈水平放置的扩散炉。结构分为上下架。上架放置炉体,下架有温度控制器和可控硅装置,其数目与炉管数目相同。

此外扩散炉的分类还有双温区真空扩散炉和激光功率扩散炉等。

扩散炉不能升温怎么办

扩散炉不能升温,主要与温控板及加触发板有关,应该从以下几个方面进行检查:
1、检查触发板上的触发指示灯亮不亮。如果不亮,说明没有触发信号。再检查控制 柜面板上的加热指示灯是否亮。

如果亮,说明触发板与下位机机箱转接之间的连接信号线转接插头接触不好;如果不亮,说明系统温度参数没配置好

或温控板有问题。  
2、如果触发板上的触发指示灯亮,说明触发板上有触发信号,则应检查变压器输出 电压是否正常。如果正常,检查

可控硅是否开路。 
3、检查炉体的炉丝是否烧断。

 

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