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高温真空烧结炉日常应急策略(二)

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2018-05-09

四、高温真空烧结炉加热电源掉电

1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。

2、接地故障。

3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。

4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

五、高温真空烧结炉充气气体(氩气或氮气)停止

1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。

2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。

六、真空室压力恶化

1、真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。

2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。

在真空和保护性气氛中,对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结,要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时,一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中,高温加热到软化状态时,加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。

 

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