高温真空烧结炉日常应急策略（一）

高温真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，就为您介绍高温真空烧结炉的应急措施。

一、高温真空烧结炉冷却水异常

1、确认加热电源已停止。

2、高温真空烧结炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。

3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

4、在高温(超过200℃即视为高温)时，冷却水停止，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

二、高温真空烧结炉压缩空气停止

1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。

2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。

三、高温真空烧结炉停电

1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。

3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复，重新启动设备，如果需要较长时间，则保持原状，让设备自然冷却下来。