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高温真空烧结炉日常应急策略(一)

编辑:青岛汉容瑞得技术有限公司  时间:2018-04-27

高温真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。下面,就为您介绍高温真空烧结炉的应急措施。

一、高温真空烧结炉冷却水异常

1、确认加热电源已停止。

2、高温真空烧结炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。

3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。

4、在高温(超过200℃即视为高温)时,冷却水停止,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

二、高温真空烧结炉压缩空气停止

1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。

2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。

三、高温真空烧结炉停电

1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。

2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。

3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复,重新启动设备,如果需要较长时间,则保持原状,让设备自然冷却下来。

 

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