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真空管式炉维修后应注意的问题

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2018-03-19

         对真空管式炉维修后,要进行烘炉、必须对真空管式炉进行真空检漏。真空管式炉烘炉前,可用1000V摇表检测真空管式炉的绝缘,正常不小于2MΩ。真空管式炉烘炉分三个阶段:水分排出期O200,是真空管式炉保温层中的水分和真空管式炉体中潮气的排出期,必须检查真空管式炉真空度,同时保温时间较长。真空管式炉体放气量大的温度区一般在500左右,因真空管式炉放气量比较大,这时升温不超过50/h。保温时间一般在60分钟以上保温期1200左右,加热每升高100200,要进行保温一段时间,升温过快易损坏保温层、真空管式炉放气不完全。

       真空管式炉使用维护操作规程,建立真空管式炉运行记录和修理档案,统计运行累积工作时间,加强真空管式炉日常维护,掌握设备技术状态变化趋势,及早发现故障损坏苗头,避免属于事故抢修性质的维修,并根据真空管式炉工作负荷和运行状况,提前有针对性地准备真空管式炉修理用零部件,编制真空管式炉运行维护方案。如真空管式炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、真空管式炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关,在每天24小时加工生产的情况下,真空管式炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次. 这取决于钎焊工作的类型和使用次数

        真空管式炉一般在春秋季节泄漏故障较多,长期闲置的真空管式炉在才次使用时真空管式炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏,真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下,关闭所有真空阀,停止真空系统运转,1Omin后读一个数,1h后再读一个数,两数之差是压升率的数值),掌握设备泄漏变化趋势,如真空设备连续停机一个礼拜,要空运转一次(进行烘炉)。

 

 

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