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高温真空烧结炉升降温度如何调节?

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2018-06-22

高温真空烧结炉温度调节点的实际峰值温度是很多人关注的问题。烧结炉的最佳温度范围太高。如果它太高算是过烧,如果它太低,算是欠烧。这两种条件都不是最好的烧结效果。掌握温度控制是找到最佳烧结温度范围的关键。如何判断是否燃烧?

高温真空烧结炉欠烧时,穿透氮化硅的银浆留有残余,那么进入N型层的银浆也比较少,欧姆接触效果不好,会造成串联的电阻较大。过烧时,银的消耗量会较平时多一些,而且会形成有银硅形成的混合层,这个混合层会起到阻碍的作用,同样也会形成串联的电阻过大。所以单单通过电阻不能推断是欠烧还是过烧状态。

当无法判断烧结的状态时可以调节8区的温度,找到大概的调节点,然后缓慢进行微调。微调的时候我们可以通过背场的状态来判断,如果背场微微鼓起,那么就是出于过烧,所以应微调降低温度。在开始烧结之前要先确认每个加热灯管是否可以正常运行。检查各个温区的灯管输出的功率是否高于其他温区灯管的平均值,来保证烧结的平均性。

高温真空烧结炉是一个通过用高温加热把物体或物质的形状缩小的设备。它可以将物体中的空隙减少,晶界逐渐聚拢,固体颗粒逐渐连接,从而实现密度增加,物体减小的多晶烧结体的设备。

那么高温真空烧结炉在平时应如何保养呢?

1、设备的进出口下仓,传动动力仓要确保清洁无杂物。

2、排放口的清洁用酒精清洁上面的有机物。

3、腔体内部主要查看各个透气孔是否有堵塞。

4、灯管上如果有有机物可以用无纺布或者酒精棉擦拭洗涤。

5、斜角网带的话可以在转送120的情况下烘烤变软后铲掉。

6、顶针网带的话可以用砂纸慢慢打磨,防止对电池片的损伤。

 

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