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青岛育豪供应太阳能扩散炉

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2016-09-14

青岛育豪供应太阳能扩散炉

◆工作温度: 300~1300℃

◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制

◆恒温区长度: 1080mm(可根据用户要求定制)

◆温区精度 (静态闭管测试):

      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃

      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃

◆单点温度稳定性(静态闭管测试):

      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃/24h

      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃/24h

◆温度斜变能力:

      最大可控升温速度(300~1300℃):15℃/min

      最大降温速度(1300~900℃): 5℃/min 

◆气体流量设定精度: ±2%FS

◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

◆自动送料装置行程: ~2000mm

      速度: 5~1000mm/min

      SiC浆承重 19kg

◆装片数量 400片/管

◆净化台洁净度 100级(10000级厂房)

◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz;

◆冷却水: 2~4Kgf/cm2,~8L/min

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