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真空管式炉的使用注意事项

编辑:青岛汉容瑞得技术有限公司  时间:2016-09-14

真空管式炉的使用注意事项

管式炉中的石英管工作环境:真空条件或者小于0.02MPa

气瓶上务必要安装减压阀,输出压力<0.02Mpa,维持气体连续流动状态。大于0.02MPa会导致炉腔损坏,建议在本公司配减压阀,本公司所配减压阀的气压量程为0-0.1MPa,精度更高,实验时更加安全。

当出气阀关闭,炉腔内有正压时不要加热炉子。加热过程中时刻观察压力表的变化,当炉腔压力超过0.02MPa时,要立即打开出气阀,以防危险发生。

真空环境下石英管加热不要超过1000度,超过1000度石英管会变形。

进气流量要小于200SCCM(200ml/min),以减少热量对石英管的冲击。


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