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扩散炉操作

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2017-04-06

扩散炉的四部分:
控制柜 
推舟净化台
电阻加热炉
气源柜 

1、控制部分: 
整个控制柜分为五层,计算机控制部分分上层、中上层、中下层及下层四个独立部分,每层控制对应层的推舟、炉温及气路部分,是扩散/氧化系统的控制中心。 
在控制柜的底层,安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路及电路转接控制板, 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。 

2、推舟净化部分 

推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是水平层流的高效过滤器及四层推舟的丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨座,丝杠的右端安装有驱动步进电机,导轨的两端是限位开关。

柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。

电阻加热炉部分

电阻加热炉柜共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇,废气室顶部设有抽风口,与外接负压抽风管道连接后,可将工艺过程残余的废气带走。

中间部分分四层放置四个炉管,每层由四个坡面支架托起并固定住炉管,其位置在安装时已经与推舟送片机构——丝杠、导轨副调好对中,因此切不可轻易挪动
3、气源部分 

气源柜分为五层。顶部设置有排毒口,用以排除在换源过程中泄漏的有害气体。

 

柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口,接口以下安装有减压阀、截止阀,用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路,各层分别装有相应的电磁阀、气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、及源瓶冷阱等。

 

柜子的底部装有质量流量控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总电源进线转接板。

 

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