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扩散炉的安装应用

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2017-09-12

扩散炉,LPCVD,氧化炉,退火炉

是专业的卧式扩散炉,氧化炉,退火炉,合金炉和LPCVD炉厂家,扩散炉的安装应用,半导体零部件在全国各地都有大量的安装应用。

产品可处理2“〜8”的基板,每管加工能力可达25,50;根据不同工艺气体和温度控制范围的配置,产品型号可用于LPCVD,扩散和氧化热处理反应过程。

应用

标准半导体技术

·LPCVD氮化硅(标准型)

·LPCVD氮化硅(低应力型)

·LPCVD VLTO(低温氧化)

·LPCVD BPSG(硼磷硅酸玻璃)

·高温氧化

·干燥氧化

·湿氧化

掺杂扩散

高温热回火

扩散炉的安装应用

低温退火和合金化

标准LED技术

·高真空退火(环境可控)

·低温合金/退火

标准PV(太阳能)工艺

·湿氧/干氧

PN结驱动

·氢退火

低温热处理

多晶硅和掺杂多晶硅


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