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扩散炉的应用说明

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2017-09-18

扩散炉有两种类型的垂直扩散炉 (垂直) 和水平扩散炉 (水平)。

立式扩散炉

垂直扩散炉是一种垂直于水平水平的石英船, 更有利于硅片的机械手传动, 扩散炉的应用说明,在胶片中的工艺参数的一致性较好。

水平扩散炉是一种与水平面平行的石英舟, 一罐4或4以上的工艺炉管, 平均炉管占地面积较小, 工艺参数之间的薄膜比垂直扩散炉好。

扩散炉用于扩散, 氧化, 退火, 合金和烧结过程的 LSI, 分立器件, 电力电子, 光电器件和光纤。

扩散过程的主要目的是在高温下掺杂半导体晶片, 并将元素磷和硼扩散到硅片中, 从而改变和控制杂质的种类、浓度和分布。半导体为了建立不同的电子特征区域。

最新的低压磷扩散利用低气压环境, 以获得更好的块阻力均匀性和更大的产量, 同时最大限度地减少了环境污染的影响。

氧化过程是使晶片表面在高温和氧化剂的作用下, 生长一层二氧化硅膜。

氧化方法有干湿氧, 湿氧包括水蒸气氧化和氢氧合成两种。

中国真空炉工业联合会近日预测, 真空炉行业的销售额增长将超过去年30% 的水平有较大的下降, 但增幅仍可达20% 左右, 预计明年全行业经济运行将从过去两年的持续高速增长恢复到大约15% 的正常发展年, 在国家宏观调控的指导下, 预计石油化工装备制造业将在未来两年内继续快速发展。

该行业将继续 "冷热"

宏观调控的重点是调整结构。在真空炉行业, 一些行业已经受到了冷却的影响, 但其他领域已获得加速发展的机会。具体来说, 将继续 "热" 行业有农业机械、石化总厂、机床、电器等行业, 以及工程真空炉、汽车等行业尚未走出 "冷"迹象.

扩散炉的应用说明

在农机行业中, 由于国家支持实施 "三农业" 政策, 今年的农业收获, 农民收入看涨, 特别是国家和省市购买特殊农业机械补贴的实施, 使新一轮 "农机热" 出现;中型和马力拖拉机, 特别是60马力, 已在7月售出已生产出超过5万台, 市场仍供不应求;小麦联合收割机从6月起, 与国家采购补贴, 大米结合市场的发布, "热" 的情况下, 预计将饲料入大米结合生产和销售今年将超过2万单位, 去年增加了一倍以上。插秧机也将成为农业机械的新亮点。


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