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扩散炉的操作

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2017-09-19

扩散炉四部分: 控制柜、推船净化装置、电阻加热炉、气源柜

1. 控制部分:

整个控制柜分为五层, 计算机控制部分上、中、下、下四独立部分, 扩散炉的操作,每层控制相应的推舟层、炉膛温度和气路部分, 是扩散/氧化系统控制中心。

在控制柜的底部安装有四管控系统的推船控制装置、保护电路和电路传递控制板, 前盖板装有三相电源指示灯和照明,清洗和通风开关。

2、推舟净化部分

罐顶装有照明灯;正水平层流流动的高效过滤器和四层推舟螺钉、导对传动系统和 SIC 悬臂桨座, 右端的螺杆是安装驱动步进电机, 两端的导轨是限位开关。

机柜下部装有控制电路转移板和净化风扇。

电阻加热炉部分

电阻加热炉柜共有六层。顶层装有水冷散热器和排气扇, 排气室的顶部设有吸风口, 与外部负压通气管连接, 可从残余排气处带走过程.

扩散炉的操作

中间部分的四层的地方四炉管, 每层由四的斜坡支架和固定的炉管, 其位置在安装已与推船交付机制-螺丝, 引导对调整在右边, 所以必须不易移动

3. 气源部分

气源柜分为五层。顶部设有解毒口, 用于排除在源交换过程中泄漏的有害气体。

该机柜的顶部设有三路气体和一个压缩进气口, 以下装置具有减压阀和截止阀, 以控制和调节进口压力。对应于气路, 每一层均配有相应的电磁阀、气动阀、过滤器、止回阀、质量流量控制器和源瓶冷阱。

机柜底部设有质量流量控制器电源、控制开关、保险电路转印板和总电源进口适配器板。


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