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对扩散炉炉体的烘热后的检查

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2017-09-29

一、使用扩散炉炉体的注意事项:      

a:烘扩散炉炉体通蒸汽时必须先脱水,缓慢进行,防止水击。      

b:扩散炉炉体的炉膛分别升至150℃、320℃时恒温,目的是脱除吸附水和结晶水。      

c:烘扩散炉炉体过程中要加强检查,升温要匀速缓慢,严格按烘扩散炉炉体升温曲线进行,发现异常现象立即请示处理。 

二、对扩散炉炉体的烘热后的检查:      

a:检查各部砌砖有无裂缝,耐火衬里有无脱落,钢架、吊挂有无弯曲变形,炉管有无变形,基础有无下沉等。      

b:如果耐火衬里表面脱落深度超过15mm,或脱落深度达到耐火层厚度的五分之一时,需要进行凿洞修补。      

c:如果耐火衬里出现大于3mm的皲裂,如何处理由设计单位研究决定。     

d:扩散炉炉体的炉膛在烘扩散炉炉体前放的砖样进行取样分析水份,低于7%为合格,等待正常开工。 

三、扩散炉炉体的空气-蒸汽烧焦: 

(1)加热扩散炉炉体的烧焦操作      

a:原理:扩散炉炉体的炉管内的焦质在一定的温度下,受到高温蒸汽和空气的冲击而崩裂脱落,脱落的焦质和空气反应而燃烧,这些燃烧的产物和未燃烧的焦粉一起被混合气流带到烧焦罐,在烧焦罐中与新鲜水混合后排走。     

b:目的:加热扩散炉炉体进行烧焦后,可以提高炉管的传热效率,延长炉管的使用寿命。 

(2)准备工作      

a:准备好烧焦流程,确保烧焦流程畅通。     

b:维持燃料气压力。将燃料气引至火嘴双阀前。      

c:引新鲜水、蒸汽、工业风(蒸汽压力> 0.7MPa,工业风压力≮ 0.4MPa)。     

d:联系仪表人员校对所用仪表。 

(3)剥离除焦阶段      

a:F-3101炉管入口处给蒸汽,F-3201四路进料线在F-3101对流室前给蒸汽,两炉点火升温。      

b:扩散炉炉体的炉膛低于500℃时,升温速度为40℃/h,温度升至550℃时为止。     

c:扩散炉炉体的炉膛温度达到350℃时,给汽阀全开


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