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高温真空烧结炉的炉技术条件

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2017-05-11

 

1设备总功率:350KVA

2.中频加热功率:250KW(max)

3.中频加热频率:1500-2500HZ

4.中频输出电压: 250V

5.设备极限真空度:小于40mba

6.设备工作真空度:小于40mba

7.可以充保护性其他工作或高压强制风冷

8.真空漏泄率:3Pa/h

9.冷却水压:0.2Mpa-0.4 Mpa

10.冷却水流量:19t/h

11.设备总重量:12t/h(计算值)

12.加热温升时间:2小时(min)(计算值)

13.冷却时间(自然):≥10小时(可采用强制冷却)

 

高温真空烧结炉的工作原理

真空高温烧结炉,采用感应加热的方式,石墨发热体,碳毡保温。工件在装料位置,装料后,由小车送入加料室,抽真空后加热。经过加热烧结后,冷却出炉。

由于加热区温度高,保温效果好,所以工件冷却慢,一般要十几个小时冷却,为了快速冷却,可采用其他循环冷却方式,一般采用Ar气,通过热交换器进行水冷,缩短冷却时间。

 

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