电话:18678918462
新闻
首页 > 新闻 > 内容

扩散炉的规格有哪些

编辑:青岛汉容瑞得技术有限公司  时间:2017-04-26

扩散炉种类很多,按每台炉子的炉管数可分为单管炉和多管炉;按结构形式可分为卧式和立式;按恒温区长度可分为大、中、小三种,大型的恒温区可分为大、中、小三种,大型的恒温区为600-400毫米,中型的为400-200毫米,小型的

为200毫米左右。扩散炉的分类主要有以下几种:

1、单管扩散炉

每台扩散炉只有一个炉管、一套温度控制器和可控硅装置的扩散炉。结构简单,但由于受半导体工艺车间净化面积的限制,一般多采用多管扩散炉。

2、多管扩散炉

每台炉子由二个或二个以上炉管的扩散炉。目前大多数采用三管炉。使用时将两台三管炉靠背放置即成六管炉。使用时将两台三管炉背靠背放置即成六管炉,它只需配置一套净化台,从而缩小了占地面积和净化费用。

3、卧式扩散炉

炉膛呈水平放置的扩散炉。结构分为上下架。上架放置炉体,下架有温度控制器和可控硅装置,其数目与炉管数目相同。

此外扩散炉的分类还有双温区真空扩散炉和激光功率扩散炉等。

 

联系我们

青岛汉容瑞得技术有限公司  
地址:青岛市高新区锦业路1号蓝贝智造工场D5-1
全国咨询电话:张经理 18678918462
网址:

邮箱:张经理 zhm18678918462@163.com

版权所有:青岛汉容瑞得技术有限公司  手机版