LED外延片退火炉

◆ 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便                 

◆ 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步 

◆ 工艺曲线的自动运行控制功能                           

◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能             

◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能             

◆ 智能升降温斜率控制功能

◆ PID参数自整定功能                 

◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◆ 系统故障的检测与报警功能                             

◆ 系统误差修正（单点或多点动态修正功能）

◆ 智能悬臂推拉舟控制功能                                

◆ 工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）

◆ 停电后断点继续运行功能等等                           

 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。 

◆ 工作温度：200-1000℃（最高温度小于800℃）

◆控制精度：≤±1.0℃

◆恒温区长度：定制

◆开机重复性：≤±1.0℃

◆冷态真空度：10-1Pa

◆石英真空室内径：定制

◆控制仪表：日本岛电公司原装进口控温仪

◆环境温度：10~45℃

◆相对湿度：≤85%

◆供电电源：三相五线380V±10% 50Hz

◆可用气氛：H2，N2 

★可配工艺管数量：1~4管/台；       

★工作温度范围：200～1000℃；

★恒温区长度及精度：300～900mm     600~1000℃±0.5℃；

★单点温度稳定性：600～1000℃±0.5℃/24h；    

★最大可控升温速度：15℃/min

★最大降温速度：15℃/min