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合金炉

LED外延片退火炉

LED外延片退火炉
产品详情:

◆ 全中文操作界面,可编辑参数,操作简便                 

◆ 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步 

◆ 工艺曲线的自动运行控制功能                           

◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能             

◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能             

◆ 智能升降温斜率控制功能

◆ PID参数自整定功能                 

◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◆ 系统故障的检测与报警功能                             

◆ 系统误差修正(单点或多点动态修正功能)

◆ 智能悬臂推拉舟控制功能                                

◆ 工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)

◆ 停电后断点继续运行功能等等                           

 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。 

◆ 工作温度:200-1000℃(最高温度小于800℃)

◆控制精度:≤±1.0℃

◆恒温区长度:定制

◆开机重复性:≤±1.0℃

◆冷态真空度:10-1Pa

◆石英真空室内径:定制

◆控制仪表:日本岛电公司原装进口控温仪

◆环境温度:10~45℃

◆相对湿度:≤85%

◆供电电源:三相五线380V±10% 50Hz

◆可用气氛:H2,N2 

★可配工艺管数量:1~4管/台;       

★工作温度范围:200~1000℃;

★恒温区长度及精度:300~900mm     600~1000℃±0.5℃;

★单点温度稳定性:600~1000℃±0.5℃/24h;    

★最大可控升温速度:15℃/min

★最大降温速度:15℃/min 

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